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Details
Micropatterning of Ceramics on Substrates Towards Gas Sensing Applications
| Author | Heule, M.; Meier, L.P.; Gauckler, L.J. | |
| Year of Conference | 2001 | |
| Type | Conference Proceedings | |
| Editor | de Boer, M.; Judy, M.; Kahn, H.; Spearing, S.M. | |
| Conference Name | Proceedings of the Materials Science of Microelectromechanical Systems (III) | |
| Conference Location | Pittsburgh, PA | |
| Publisher | Mater. Res. Soc. Proc. | |
| Volume | 657 | |
| Pages | EE9.4.1-EE9.4.6 | |
| Series Title | Proceedings of the Materials Science of Microelectromechanical Systems (III) | |
| Custom 1 | CP | |
| Custom 2 | MICRO | |
| Notes | accepted Jan 01, released Oct. 01; protected file! | |
| URL | ||
| Record Number | 463 | |
| Group | nonmet |
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